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Physik Instrumente (PI)線(xiàn)性平臺U-523PILine®線(xiàn)性平臺特點(diǎn):快速定位省空間和重量導向精度高傳感器分辨率高達10 nm自鎖,靜止時(shí)不發(fā)熱低噪音運行精密級線(xiàn)性定位平臺
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Physik Instrumente (PI)線(xiàn)性平臺
U-523PILine®線(xiàn)性平臺
特點(diǎn):
快速定位
省空間和重量
導向精度高
傳感器分辨率高達10 nm
自鎖,靜止時(shí)不發(fā)熱
低噪音運行
精密級線(xiàn)性定位平臺
PILine®工作臺特別適合需要快速精確定位的應用。關(guān)閉時(shí),自鎖驅動(dòng)器會(huì )保持平臺在機械上穩定的位置。因此,能量消耗和熱量產(chǎn)生顯著(zhù)減少。這些特性使電池供電或對熱敏感的低占空比應用受益。軸的位置由編碼器測量,光學(xué)參考開(kāi)關(guān)可實(shí)現可靠的可重復運動(dòng)。壓電驅動(dòng)原理及其電氣操作成本低廉,可以定制。
使用增量編碼器進(jìn)行高精度位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器可以高精度直接在平臺上測量位置。非線(xiàn)性,機械游隙或彈性變形對測量沒(méi)有影響。
PILine®超聲波壓電馬達
PILine®超聲波壓電電機的組成部分是壓電致動(dòng)器,該壓電致動(dòng)器通過(guò)一個(gè)耦合元件預加載在可移動(dòng)的導向流道上。壓電陶瓷執行器被100200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產(chǎn)生超聲振蕩。致動(dòng)器的變形導致聯(lián)接元件相對于轉輪周期性的對角運動(dòng)。每個(gè)周期產(chǎn)生的進(jìn)料為幾納米。高頻導致高速。將壓電陶瓷執行器預緊抵在轉輪上,可在靜止和關(guān)閉時(shí)確保驅動(dòng)器自鎖。
應用領(lǐng)域
顯微操作,自動(dòng)化,生物技術(shù),樣品處理,樣品定位,空間有限的應用,10 -6hPa的真空應用(可選)。
寬度僅21毫米,高度僅10毫米
帶有集成增量編碼器的直接位置測量
編碼器分辨率高達1 nm
小增量運動(dòng)可達2 nm
帶轉接板或支架的多軸系統設置(可選)
可根據要求提供 10 -6 hPa的真空版本
壓電慣性驅動(dòng)
壓電慣性驅動(dòng)器是節省空間且價(jià)格合理的基于壓電的驅動(dòng)器,具有相對較高的夾持力和幾乎無(wú)限的行程范圍。慣性驅動(dòng)原理基于單個(gè)壓電致動(dòng)器,該壓電致動(dòng)器由特殊驅動(dòng)器電子設備提供的修改后的鋸齒電壓進(jìn)行控制。執行器緩慢膨脹并移動(dòng)流道。由于其慣性,轉輪無(wú)法跟隨執行器的后續快速收縮,并保持在其位置。驅動(dòng)器的高工作頻率為20 kHz,直接作用在轉輪上并達到大速度。6毫米/秒
真空
可根據要求提供10 -6 hPa的真空版本。
直接測量原理
線(xiàn)性位移臺配有非接觸式測量光學(xué)線(xiàn)性編碼器和參考開(kāi)關(guān)。分辨率為4 nm或1 nm,具體取決于版本。
應用領(lǐng)域
微型裝配,光子學(xué),光學(xué)對準,顯微鏡,光束線(xiàn)儀器,半導體技術(shù),測試
行程范圍為±17毫米/±21°
設計緊湊
可移動(dòng)磁性板
高動(dòng)態(tài)和高精度
可自由編程的虛擬樞軸點(diǎn)
越的使用壽命
六自由度的并聯(lián)運動(dòng)學(xué)設計使其比串聯(lián)運動(dòng)學(xué)系統更加緊湊和堅固,動(dòng)態(tài)范圍更大,電纜沒(méi)有移動(dòng):更高的可靠性,減少了摩擦
無(wú)刷直流電機(BLDC)
無(wú)刷直流電動(dòng)機特別適合于高轉速??梢跃_地控制它們并確保高精度。由于無(wú)需滑動(dòng)觸點(diǎn),因此它們運行平穩,無(wú)磨損,因此使用壽命長(cháng)。
應用領(lǐng)域
研究和工業(yè),微制造,光纖對準和光學(xué)組件的對準。
廣泛的軟件包
供貨范圍內提供的軟件包允許將系統集成到幾乎所有環(huán)境中。支持所有常見(jiàn)的操作系統,例如Windows,Linux和macOS,以及許多常見(jiàn)的編程語(yǔ)言,包括Python,MATLAB和NI LabVIEW。得益于復雜的程序示例和軟件工具(如PIMikroMove)的使用,開(kāi)始集成和生產(chǎn)操作之間的時(shí)間大大縮短了。
可移動(dòng)磁性板
加快您的工作流程。下一個(gè)工件可以平行于我們的自動(dòng)化處理步驟進(jìn)行準備??刹鹦洞判园鍩o(wú)需工具即可快速拆卸,然后每次都可以準確地重新組裝。
PI P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器
特點(diǎn):
緊湊:表面44毫米×44毫米
行程范圍為120 µm×120 µm
分辨率0.2 nm
特別便宜的系統(機械和控制器)
零間隙,高精度撓曲導向系統
PICMA®壓電執行器,使用壽命長(cháng)
也提供線(xiàn)性和Z載物臺,以及XYZ版本
應用領(lǐng)域:
干涉儀
顯微鏡檢查
納米定位
生物技術(shù)
測試程序和質(zhì)量保證
光子學(xué)
光纖定位
半導體技術(shù)
零游隙撓性導軌,導向精度高
撓性導板無(wú)維護,無(wú)摩擦和無(wú)磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,并且沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可以在寬溫度范圍內工作。
PICMA®壓電執行器,使用壽命長(cháng)
獲得利的PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍之多。事實(shí)證明,沒(méi)有單一故障的1000億次循環(huán)。
PI C-863.12
PI M-111.1DG
PI A-110.100B1
PI P-563.3CD
PI E-727.3CD
PI P-122.01
PI P-122.03
PI P-123.01
PI P-527.2CD, XY
PI E-727.3CD
PI P-563.3CD
PI E-727.3CDA
PI U-651.03
PI C-867.1U
Physik Instrumente E-727.3SDA
Physik Instrumente P-895.4LDS
Physik Instrumente P-887.91
Physik Instrumente L-500.AV3
Physik Instrumente S-331.2SL
Physik Instrumente E-727.3SD
Physik Instrumente M-105.3P XYZ
Physik Instrumente (PI)線(xiàn)性平臺
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