PI PD72Z1x PIFOC物鏡掃描系統

PI PD72Z1x PIFOC物鏡掃描系統

  PI PIFOC系列的壓電撓性平臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務(wù)中提供高動(dòng)態(tài)性。用于平行和垂直于光軸的XY試樣定位以及物鏡 Z 聚焦的良好適配解決方案可作為標準產(chǎn)品提供。與控制器和所有必需的連接電纜和軟件一起的系統中也可以方便地使用階段。與所有壓電系統一樣，顯微鏡載物臺和掃描儀在交付時(shí)都經(jīng)過(guò)測量日志預先校準。

-PI用于亞納米分辨率的高動(dòng)態(tài)壓電驅動(dòng)器

-PI帶有數字控制器、軟件和可選 QuickLock 螺紋適配器的完整系統

-USB、RS-232、模擬接口

-PI行程 100 µm

-PI具有亞納米分辨率的物鏡精細定位

-PI零間隙、高精度撓性導軌系統

-PI使用電容式傳感器進(jìn)行直接位置測量

-PI與 MetaMorph、μManager 和 MATLAB 兼容

-PI所有伺服控制參數均可在運行過(guò)程中更改

-直接位置測量帶來(lái)的大精度

運動(dòng)直接在運動(dòng)平臺上測量，不受驅動(dòng)或導向元件的任何影響。這實(shí)現了佳的可重復性、的穩定性和剛性、快速響應的控制。

-帶電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，無(wú)需接觸。它們保證的運動(dòng)線(xiàn)性度、長(cháng)期穩定性和 kHz 范圍內的帶寬。

-用于快速啟動(dòng)生產(chǎn)操作的廣泛軟件

得益于MATLAB 和 NI LabVIEW以及所有常見(jiàn)操作系統（Windows、Linux 和 macOS）的支持，集成幾乎可以在所有環(huán)境中成功 - 快速高效。復雜的編程示例和PIMikroMove等軟件工具大大縮短了生產(chǎn)操作的時(shí)間。

PI PD72Z1x PIFOC應用領(lǐng)域

-顯微鏡

-共聚焦顯微鏡

-3D成像

-篩選

-自動(dòng)對焦系統

-表面分析

-晶圓檢測

PI PD72Z1x PIFOC物鏡掃描系統